1、從事精密設(shè)備中微環(huán)境控制以及真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)，保證設(shè)備中關(guān)鍵區(qū)域的溫度、壓力、污染等關(guān)鍵環(huán)境指標(biāo)的達(dá)成，實(shí)現(xiàn)精密設(shè)備中的超潔凈真空與精密環(huán)境控制；
2、負(fù)責(zé)真空與環(huán)控領(lǐng)域的平臺(tái)能力建設(shè)，開展行業(yè)技術(shù)趨勢(shì)分析、技術(shù)合作以及參加相關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)會(huì)議等工作。并能夠針對(duì)工作中的成果進(jìn)行相關(guān)規(guī)范、數(shù)據(jù)庫、專利等平臺(tái)能力交付。