設備運維與優(yōu)化
負責碳化硅關鍵生產(chǎn)設備(如MOCVD、高溫退火爐、單晶生長爐、光刻機、刻蝕機)的日常維護、校準及性能優(yōu)化,確保設備穩(wěn)定運行。
制定設備維護計劃(PM),減少宕機時間,提升設備稼動率(OEE)。
工藝支持與故障處理
配合工藝團隊調試設備參數(shù),解決SiC外延生長、離子注入、高溫氧化等工藝中的設備相關問題。
快速診斷設備異常(如溫度漂移、真空泄漏、氣體流量異常),提出根因分析及解決方案。
新設備導入與改造
參與新設備選型、安裝調試及驗收,制定標準操作流程(SOP)和培訓文件。
主導設備升級改造(如自動化集成、能耗優(yōu)化),提升生產(chǎn)效率和良率。
生產(chǎn)支持與良率提升
監(jiān)控設備運行數(shù)據(jù)(如SPC),分析設備對晶圓良率的影響,提出改進方案。
配合生產(chǎn)部門制定設備應急預案,確保量產(chǎn)穩(wěn)定性。
合規(guī)與安全管理
確保設備操作符合EHS規(guī)范(如化學品管理、廢氣處理、高溫高壓安全)。
維護設備相關文檔(如維修記錄、備件清單),滿足ISO/SEMI標準要求。
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