拓荊科技股份有限公司簡(jiǎn)介拓荊科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“拓荊公司”或“公司”）成立于2010年4月，于2021年1月12日整體變更為股份有限公司。公司總部位于遼寧省沈陽市渾南區(qū)，并在北京、上海、海寧成立三家子公司。公司主要從事高端半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和技術(shù)服務(wù)。公司聚焦的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備與光刻機(jī)、刻蝕機(jī)共同構(gòu)成芯片制造三大主設(shè)備。公司多次承擔(dān)國(guó)家重大科技專項(xiàng)，被中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)評(píng)為2016年度、2017年度、2019年度“中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)企業(yè)”。公司主要產(chǎn)品包括等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備、原子層沉積（ALD）設(shè)備和次常壓化學(xué)氣相沉積（SACVD）設(shè)備三個(gè)產(chǎn)品系列，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際同類產(chǎn)品先進(jìn)水平，產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路晶圓制造，以及TSV封裝、光波導(dǎo)、Micro-LED、OLED顯示等高端技術(shù)領(lǐng)域。目前，公司研發(fā)的PECVD、ALD及SACVD設(shè)備系列化產(chǎn)品已累計(jì)發(fā)貨超150臺(tái)，客戶端總流片量突破1500萬片。公司產(chǎn)品獲得兩屆中國(guó)集成電路創(chuàng)新聯(lián)盟的IC技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)、遼寧省科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)等榮譽(yù)。公司現(xiàn)有十余名海外高層次專家，結(jié)合國(guó)內(nèi)優(yōu)秀人才，形成了一支國(guó)際化的專業(yè)團(tuán)隊(duì)，具備高科技研發(fā)實(shí)力及管理經(jīng)驗(yàn)，目前，公司員工總數(shù)超350人（含子公司）。通過多年技術(shù)積累，公司已形成自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系，被國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局評(píng)為“國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)(2019-2022)”。公司總部占地80畝、總建筑面積達(dá)40,000平方米，擁有現(xiàn)代化辦公大樓及高等級(jí)潔凈廠房、先進(jìn)和完備的無塵實(shí)驗(yàn)室及系列高端薄膜實(shí)驗(yàn)設(shè)備，用以研制和生產(chǎn)科技領(lǐng)先的半導(dǎo)體薄膜設(shè)備。公司產(chǎn)業(yè)化基地第一期生產(chǎn)能力可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)100臺(tái)套，全部投產(chǎn)可達(dá)350臺(tái)套設(shè)備，可以滿足下游客戶增產(chǎn)需求。公司擁有覆蓋全球的供應(yīng)商網(wǎng)絡(luò)，并在北京、上海、武漢、合肥、天津、臺(tái)灣等20多個(gè)地區(qū)的近40條生產(chǎn)線都設(shè)有技術(shù)服務(wù)中心，可為客戶提供每周7天，每天24小時(shí)的技術(shù)服務(wù)。公司運(yùn)營(yíng)管理體系已通過ISO9001、ISO14001、ISO45001體系的認(rèn)證。公司愿與業(yè)界伙伴建立真誠(chéng)、友好、共贏的產(chǎn)業(yè)合作聯(lián)盟，共同為中國(guó)及世界半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。